Pompa Vakum InPower Dry Vane digunakan dalam industri semikonduktor untuk menciptakan lingkungan vakum yang bersih dan kering. Pompa ini memiliki berbagai macam aplikasi dalam industri semikonduktor karena kebersihan, keandalan, dan efisiensinya. Pompa ini penting untuk proses seperti pengendapan uap kimia, pengendapan uap fisik, implantasi ion, dan etsa.
Fitur:
Pompa vakum baling-baling kering merupakan jenis pompa vakum yang menggabungkan keunggulan teknologi sekrup kering dengan pendinginan air untuk meningkatkan kinerja dan efisiensi. Pompa ini menawarkan solusi yang andal, efisien, dan perawatannya rendah untuk aplikasi vakum yang menuntut yang memerlukan operasi kering dan pembuangan panas yang efektif.
Model:LGB30/50/70/110/150/180/200/220/270/300/360/400/500
Vakum pamungkas: Kurang dari atau sama dengan 1Pa
KECEPATAN 50 Hz: 30-500 L/s
KECEPATAN 60 Hz: 36 - 600 L/s
|
Pola |
LGBT30 |
LGB50 |
LGB 70 |
LGB110 |
LGB 150 |
LGB180 |
LGB 200 |
LGB220 |
LGB270 |
LGB300 |
LGBT360 |
LGB400 |
LGB 500 |
||
|
KECEPATAN (50Hz) |
L/s |
30 |
50 |
83 |
110 |
150 |
180 |
200 |
230 |
270 |
300 |
360 |
360 |
500 |
|
|
m3/h |
110 |
180 |
300 |
400 |
540 |
650 |
720 |
830 |
970 |
1080 |
1300 |
1500 |
1800 |
||
|
Vakum Tertinggi (50Hz) |
Sudah |
5 |
5 |
5 |
5 |
5 |
5 |
5 |
5 |
5 |
5 |
5 |
5 |
5 |
|
|
Tekanan pembuangan maksimum |
batang |
1.2 |
1.2 |
1.2 |
1.2 |
1.2 |
1.2 |
1.5 |
1.2 |
1.2 |
1.2 |
1.2 |
1.2 |
1.2 |
|
|
DAYA (50Hz) |
Kw |
4 |
4 |
5.5/7.5 |
11 |
15 |
15 |
18.5 |
18.5 |
22 |
30 |
37 |
37 |
37 |
|
|
Kecepatan Motor (50Hz) |
putaran per menit |
2880 |
2880 |
2880 |
2880 |
2880 |
2880 |
2880 |
2880 |
2880 |
2880 |
2880 |
2880 |
2880 |
|
|
Menghubung |
DI DALAM |
satuan |
50 |
50 |
65 |
65 |
100 |
100 |
150 |
150 |
150 |
150 |
150 |
150 |
150 |
|
KELUAR |
satuan |
40 |
40 |
65 |
65 |
80 |
80 |
100 |
100 |
100 |
100 |
100 |
100 |
100 |
|
|
Air |
Mengalir |
L/menit |
6 |
6 |
10 |
15 |
20 |
20 |
25 |
25 |
28 |
28 |
28 |
28 |
28 |
|
Tekanan |
Mpa |
0.2-0.35 |
0.2-0.35 |
0.2-0.35 |
0.2-0.35 |
0.2-0.35 |
0.2-0.35 |
0.2-0.35 |
0.2-0.35 |
0.2-0.35 |
0.2-0.35 |
0.2-0.35 |
0.2-0.35 |
0.2-0.35 |
|
|
Menghubung |
G3/8" |
G1/2" |
G1/2" |
G1/2" |
G1/2" |
G1/2" |
G1/2" |
G1/2" |
G1/2" |
G1/2" |
G1/2" |
G1/2" |
G1/2" |
||
|
Metode Pendinginan |
Udara/Air |
Udara/Air |
Air |
Air |
Air |
Air |
Air |
Air |
Air |
Air |
Air |
Air |
Air |
Air |
|
|
Kebisingan |
dB |
75 |
75 |
75 |
76 |
76 |
78 |
78 |
78 |
80 |
80 |
85 |
85 |
85 |
|
|
Berat |
kg |
310 |
310 |
475 |
570 |
840 |
840 |
1200 |
1220 |
1250 |
1300 |
1350 |
1380 |
1400 |
|
|
Persyaratan Khusus |
Sesuai dengan kebutuhan, dapat dikonfigurasi dengan frekuensi variabel, anti korosi, anti ledakan, dll. |
||||||||||||||
Pompa Vakum Dry Vane inPower Area aplikasi:
Manufaktur Semikonduktor:
Dalam proses fabrikasi semikonduktor seperti CVD, PVD, implantasi ion, dan etsa, pompa vakum sekrup kering berpendingin air membantu mempertahankan tingkat vakum yang diperlukan sekaligus menawarkan pembuangan panas yang efisien untuk memastikan kinerja yang konsisten.
Deposisi Lapisan Tipis:
Pompa sekrup kering berpendingin air digunakan dalam teknik pengendapan film tipis seperti sputtering dan penguapan, di mana kontrol vakum yang tepat dan manajemen panas sangat penting untuk mengendapkan film tipis yang seragam pada substrat.
Proses Perlakuan Panas:
Industri yang terlibat dalam proses perlakuan panas, seperti metalurgi dan kedirgantaraan, mengandalkan pompa vakum sekrup kering berpendingin air untuk menciptakan lingkungan vakum untuk anil, penyolderan, dan perlakuan suhu tinggi lainnya sambil menjaga sistem tetap dingin.
Pengolahan Kimia dan Farmasi:
Pompa sekrup kering berpendingin air memainkan peran penting dalam aplikasi pemrosesan kimia yang mana menjaga vakum tetap bersih dan kering diperlukan untuk proses reaksi, distilasi, dan pemulihan pelarut.
Penelitian dan Pengembangan:
Laboratorium dan fasilitas penelitian di berbagai industri menggunakan pompa vakum sekrup kering berpendingin air untuk pengujian dan eksperimen, menyediakan kondisi vakum yang andal untuk mempelajari material, proses, dan peralatan.
Tag populer: pompa vakum baling-baling kering, produsen, pemasok, pabrik pompa vakum baling-baling kering Cina, Pompa vakum sekrup kering yang didinginkan udara, Otomatisasi pompa vakum, antarmuka pompa vakum, Pemantauan pompa vakum, Pengembangan Teknologi Pompa Vakum, Telemetri pompa vakum
